|
|
 |
 产品中心 PRODUCT |
当前位置：首页 > 化学供液系统 |
|
|
| 化学供液系统 |  
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
供酸系统(CDS) |
| 设备用途 |
持续不间断的向晶圆制程过程中输送高纯化学液体； |
| 操作模式 |
PLC编程控制+人机界面+全自动/手动模式； |
| 设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料 、管路部分 、海外标准件等构成； |
| 设备参数 |
◎ 全面完善的防腐保护及检漏措施，苛刻的工艺保证了设备的密封性和安全性 ；
◎ 全自动供液，无人工干涉 ，系统自动切断引擎功能；
◎ 输送流量为：20L/min；
◎ 所用工件均为高纯PTFE/PVDF/PFA/PP/PVC等纯化材质；
◎ N2及CDA压力在线监控 ，低于设定值 ，CDS自动切断；
◎ 可采用紧急一备一用预案，保证生产及时供液和运行正常化；
◎ 根据客户定制需求不同 ，定制设备性能方案 ；
|
|
下一页 ：(CDS)集中供液系统 |   |
|
|
|
 |
|
